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학술대회 국내 대한민국 단독 MICROWAVE PECVD를 사용하여 성장시킨 다이아몬드 박막의 특성분석

  • 학술대회 구분 국내 > 대한민국
  • 학술대회명 2012 한국전기전자재료학회 하계학술대회
  • 개최기관명 한국전기전자재료학회
  • 학술대회 발표논문집명 2012 한국전기전자재료학회 하계학술대회
  • 발표일자 2012-06-27~2012-06-29
  • 저자명 이상준, 강현일, 최원석, 황현석, 정연호
  • 저자구분 단독
  • 전체저자수 5
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