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학술대회 국내 대한민국 공동(교신) Deposition of Multilayered SiOxCy(-H) Films by Plasma Polymerized Hexamethylcyclrotrisiloxane at Atmospheric Pressure

  • 학술대회 구분 국내 > 대한민국
  • 학술대회명 Seventh Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2009)
  • 개최기관명 Asian Joint Committee on Plasma Surface Engineering
  • 학술대회 발표논문집명 Seventh Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2009)
  • 발표일자 2009-09-23
  • 저자구분 공동(교신)