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학술대회 국내 대한민국 공동(교신) The effect of oxygen plasma on the SiOxCy(-H) filmspolymerized by atmospheric pressure dielectric barrier discharge

  • 학술대회 구분 국내 > 대한민국
  • 학술대회명 2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제17회 신소재 심포지엄
  • 개최기관명 한국재료학회
  • 학술대회 발표논문집명 2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제17회 신소재 심포지엄 초록집
  • 발표일자 2009-11-05
  • 저자명 김기택,김보람,김윤기
  • 저자구분 공동(교신)