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논문 국내 국내전문학술지(KCI급) Tg getter 삽입을 통한 Si 기판위의 ReSi1.75 박막형성

  • 학술지 구분 국내전문학술지(KCI급)
  • 게재년월 2007-06
  • 저자명 오민욱
  • 학술지명 대한금속·재료학회지
  • 발행처명 대한금속·재료학회지
  • 발행국가 국내
  • 논문언어 한국어
  • 전체저자수 5
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