논문 국내 국내전문학술지(KCI급) 펄스직류방전과 유도결합방전의 복합에 의한 SCM440강의 이온질화
- 학술지 구분 국내전문학술지(KCI급)
- 게재년월 2010-04
- 저자명 김윤기
- 학술지명 한국표면공학회지
- 발행처명 한국표면공학회
- 발행국가 국내
- 논문언어 한국어
홈페이지논문 초록 (Abstract)
SCM440강의 질화경화깊이를 향상시키기 위하여 펄스직류방전에 13.56MHz rf를 이용한 유도결합방전을 추가하여 질화처리 하였다. 경화 資甄�rf 출력이 증가함에 따라 질화경화깊이가 증가하였다. 유도결합방전의 rf 출력이 900W에서 유효화경화깊이는 유도결합堧活�사용하지 않은 경 우에 비하여 1.6배 증가하였다. 또한 질화깊이도 1.45배 증가하였다. 표면 에 형성되는 화합물층은 펄스직류방전에 ICP를 복합하여 질화처리함에 의해 두께가 감소하고 치밀하게 형성 되었다.