학술대회 해외 대한민국 공동(교신) Oxygen Plasma Treatment of SiOxCy(-H) Films polymerized by Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge using Hexamethycyclrotisiloxane
- 학술대회 구분 해외 > 대한민국
- 학술대회명 The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology
- 개최기관명 The 10th Committee on Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology
- 학술대회 발표논문집명 Abstracts book
- 발표일자 2010-07-06
- 저자명 김윤기
- 저자구분 공동(교신)
- 전체저자수 2
