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특허 국내 특허 기계 깊은 제거를 이용하여 원하는 패턴 두께 혹은 높은 종횡비를 가지는 고해상도 패턴 형성 방법

• 지적재산권 구분 국내
• 취득 구분 등록
• 출원 및 등록인명 한밭대학교 산학협력단
• 취득 국가 구분 국내
• 출원(등록)일자 2006-05-03
• 출원/등록 국가 국내
• 발명인명 김동수
• 기술 분류 기계

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