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특허 국내 특허 기계 적정파형 및 전압 출력을 위한 반도체 검사 장비 및 그 제어 방법(SEMICONDUCTOR TEST EQUIPMENT FOR GENERATING OPTIMAL VOLTAGE OUTPUT AND PULSE AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME)

  • 지적재산권 구분 국내
  • 취득 구분 등록
  • 출원 및 등록인명 한국기초과학지원연구원
  • 취득 국가 구분 국내
  • 출원(등록)일자 2016-10-11
  • 출원/등록 국가 국내
  • 발명인명 강희찬,허환,이계승,김건희
  • 기술 분류 기계