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특허 국내 특허 재료 페럴린과 금속화합물의 공동 성막 장치(CO-DEPOSITION EQUIPMENT FOR PARYLENE AND METAL COMPOUND)

  • 지적재산권 구분 국내
  • 취득 구분 등록
  • 출원 및 등록인명 한밭대학교 산학협력단
  • 취득 국가 구분 국내
  • 출원(등록)일자 2015-06-09
  • 출원/등록 국가 국내
  • 발명인명 이재현,나광준
  • 기술 분류 재료
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