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특허 국내 특허 기계 수직형 페럴린 성막 노즐장치(NOZZLE APPARATUS FOR VERTICAL TYPE PARYLENE MONOMER)

  • 지적재산권 구분 국내
  • 취득 구분 등록
  • 출원 및 등록인명 한밭대학교 산학협력단
  • 취득 국가 구분 국내
  • 출원(등록)일자 2014-04-22
  • 출원/등록 국가 국내
  • 발명인명 이재현,남기효,김태환
  • 기술 분류 기계
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