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특허 국내 특허 화학공정 실리콘 웨이퍼를 이용한 금속 전극의 패턴 형성 방법

• 지적재산권 구분 국내
• 취득 구분 출원
• 출원 및 등록인명 유명현, 박진규, 배현수
• 취득 국가 구분 국내
• 출원(등록)일자 2021-02-04
• 출원/등록 국가 국내
• 발명인명 유명현
• 기술 분류 화학공정

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