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연구과제 민간 딥러닝 기법을 사용한 액정필름의 공정 로그 기반에서 E-beam 및 스퍼터 증착 공정 수율 예측 및 이상 탐지 시스템 개발

  • 연구비지원구분 민간
  • 연구비지원기관 포엠일렉트로옵틱
  • 참여자명 이승호, 이희열, 라승탁, 이영지, 이태윤, 오준혁, 신인영
  • 연구기간 2025-10-01 ~ 2026-09-30
  • 연구비(천원) 30,000
  • 다년과제여부
  • 연구분야 공학 > 전자/정보통신공학